六氟化硫(SF₆)在電弧下之分解物

六氟化硫(SF₆)氣體在下列4種放電狀況下會分解(CIGRE 1997年發表)
1) 因絕緣不良造成之部分電暈放電。
2) 因絕緣不良或開關操作時發生的火花放電。
3) 有負載斷路器操作時的電弧放電。
4) 絕緣破壞或開關故障時發生異常電弧。
前3項通常放電能量較小或放電受到妥善控制，因此六氟化硫(SF₆)分解的產物濃度甚低,，而「絕緣破壞或開關故障時發生異常電弧」，故障電流甚大，對設備之損害相對也最高，會導致氣室炸開、開關設備損壞無法再用、或保護電驛跳脫停電；是最需要及早防範，避免發生，其所引起六氟化硫(SF₆)分解的產物濃度通常甚高，較容易判別。

六氟化硫(SF₆)氣體在放電下分解的產物
六氟化硫(SF₆)分子有顯著的電子親和性，六氟化硫(SF₆)在電弧中與電離子結合，六氟化硫(SF₆)負離子與六氟化硫(SF₆)正離子會再結合成六氟化硫(SF₆)中性離子。但在六氟化硫(SF₆)氣體中含有少量的空氣與濕氣時，六氟化硫(SF₆)在電弧中所分解的六氟化硫(SF₆)負離子與六氟化硫(SF₆)正離子就不會再結合六氟化硫(SF₆)中性離子，而是立刻與六氟化硫(SF₆)氣體中的雜質氧氣或水分結合，形成具有毒性的副產物，如SO₂F₂、SOF₂、SO₂、HF等氣體及WO₃、WF₆、A₁F₃、CuF₂、AgS等固體粉末。

SF₆氣體受電弧高能量分解之圖示

六氟化硫(SF₆)氣體在放電下分解產物的毒性
S與F原子皆是具有毒性之物質，六氟化硫(SF₆)分子結構為一正八面體，分子結構相對稱，無極性，極為安定，因此無毒性。但當六氟化硫(SF₆)氣體在電弧放電下分解，與六氟化硫(SF₆)氣體中雜質空氣的氧與濕氣作用，就會形成具有毒性的物質。